Process Technology Developm - STAGE - Etude oxydation silicium dopé par implantation ionique M/F
STMicroelectronics
Crolles, France
il y a 6j

Job description

Le Silicium dopé (Bore ou Phosphore par exemple) est très utilisé en micro-électronique, comme électrode conductrice pour la réalisation de grille en CMOS par exemple.

Aujourd’hui, son utilisation se développe et se diversifie fortement dans les nouvelles technologies développées à ST (mémoire Flash embarquées, capteurs d’image).

Le silicium dopé est alors souvent soumis à des oxydations thermiques afin de faire croitre du SiO2 de bonne qualité, utilisé principalement comme isolant.

Si l’oxydation du Silicium est bien connue depuis les années 60 (modèle de Deal-Grove), l’oxydation du Silicium dopé l’est beaucoup moins.

L’objectif de ce stage est donc d’approfondir nos connaissances sur ce sujet.

Rattaché à l’équipe Traitement thermique R&D , vous aurez la charge d’étudier la cinétique d’oxydation de Silicium dopé par implantation ionique en comparaison avec le Silicium non-dopé.

Vous vous appuierez sur des techniques de mesure d’épaisseur de couche mince comme l’ellipsométrie ou l’XRR.

Vous devrez aussi analyser finement l’évolution de la position des dopants dans le Silicium et dans l’oxyde. Vous ferez appel à des techniques de caractérisation physico-chimique comme le SIMS ou l’XPS.

Enfin, les propriétés électriques de l’oxyde réalisé seront caractérisées, comme la tension de claquage et le courant de fuite.

Vous étudierez l’influence de divers paramètres :

liés au dopage comme la nature de l’espèce (Bore, Phosphore, Fluor par exemple), la quantité de dopants ou l’énergie d’implantation

liés à l’oxydation comme le type d’oxydation (humide, sèche) et la température.

Vous aurez à créer votre plan d’expérimentation, à le mettre en œuvre (réalisation et caractérisation des échantillons) en salle blanche sur des équipements 300mm partagés avec la production et à analyser les résultats obtenus.

Formation matériaux

Dynamisme, autonomie, esprit d’équipe, communication

Candidate criteria

Education level required

5 - Master degree

Experience level required

02 / 03 / 2020

Signaler cette offre d'emploi
checkmark

Thank you for reporting this job!

Your feedback will help us improve the quality of our services.

Postuler
Mon email
En cliquant sur « Continuer », je consens au traitement de mes données et à recevoir des alertes email, tel que détaillé dans la Politique de confidentialité de neuvoo. Je peux retirer mon consentement ou me désinscrire à tout moment.
Continuer
Formulaire de candidature